
পণ্যের নাম: জিরকোনিয়াম স্পুটারিং টার্গেট
উপাদান গ্রেড: Zr702 (ASTM B493 গ্রেড R60702)
বিশুদ্ধতা গ্রেড: 99.95% (3N5) ধাতু-ভিত্তিক (Hf-বিনামূল্যে)
মূল অ্যাপ্লিকেশন: উন্নত সেমিকন্ডাক্টর প্যাকেজিং, অপটিক্যাল আবরণ, সোলার সেল ব্যাক ইলেক্ট্রোড, মাইক্রোইলেক্ট্রনিক ইন্টারকানেক্ট লেয়ার (PVD প্রক্রিয়া)
ম্যানুফ্যাকচারিং স্ট্যান্ডার্ড: ASTM B493/B493M-14 (জিরকোনিয়াম এবং জিরকোনিয়াম অ্যালয় ফোরজিংসের স্পেসিফিকেশন) এবং SEMI M13-1102 (স্পটারিং টার্গেটের জন্য সাধারণ স্পেসিফিকেশন) মেনে চলে
জিরকোনিয়াম স্পুটারিং টার্গেটের তাত্ত্বিক ঘনত্ব হল 6.51 g/cm³, এর ঘনত্ব 99.0% এর চেয়ে বেশি বা সমান, এর তাপ পরিবাহিতা 22.6 W/m·K, এবং এর তাপ প্রসারণের সহগ (20–300 ডিগ্রি) 1.5.5. এই প্যারামিটারগুলি মান পরিমাপ করা হয় উচ্চ-বিশুদ্ধতা Zr702 লক্ষ্যমাত্রার জন্য মানক অ্যানিলেড অবস্থায়, উচ্চ{10}}শক্তির DC/RF ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং অ্যাপ্লিকেশনের জন্য উপযুক্ত, এবং 99.9% বিশুদ্ধতা সামগ্রীর থেকে উচ্চতর তাপীয় স্থিতিশীলতা প্রদর্শন করে৷
পণ্যের পৃষ্ঠের গুণমান এবং মাইক্রোস্ট্রাকচারের প্রয়োজনীয়তা:
শস্যের আকার: 50 μm (গড়) এর কম বা সমান, EBSD (ইলেক্ট্রন ব্যাকস্ক্যাটার ডিফ্র্যাকশন) দ্বারা পরিমাপ করা হয়, শস্যের আকার বিতরণের একটি আদর্শ বিচ্যুতি 15 μm এর কম বা সমান।
পৃষ্ঠের রুক্ষতা (Ra): 0.8 μm এর কম বা সমান, একটি 3D অপটিক্যাল প্রোফাইলমিটার (ISO 4287) ব্যবহার করে পরিমাপ করা হয়, স্ক্র্যাচ, ইন্ডেন্টেশন এবং গর্তমুক্ত।
Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1 মিমি² প্রত্যাখ্যান করা হয়েছে।
মাইক্রোস্ট্রাকচার: ইউনিফর্ম ইকুইক্সড -ফেজ গঠন। SEM (500× ম্যাগনিফিকেশন), ছিদ্রমুক্ত, অন্তর্ভুক্তি এবং পৃথকীকরণ।
সমস্ত লক্ষ্যগুলি হট আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং (HIP) দ্বারা ঘনীভূত হয় যাতে শস্যের সীমানা বন্ধন শক্তি 180 MPa এর চেয়ে বেশি বা সমান নিশ্চিত করা হয়, 500 ঘন্টার অবিচ্ছিন্ন স্পুটারিং এর চেয়ে বেশি বা সমান হওয়ার পরে কোনও ডিলামিনেশন ব্যর্থতার প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।

জিরকোনিয়াম স্পুটারিং টার্গেটের জন্য প্যাকেজিং এবং শিপিং স্পেসিফিকেশন (GHS এবং IEC কমপ্লায়েন্ট):
অভ্যন্তরীণ প্যাকেজিং: ভ্যাকুয়াম সিল করা (1×10⁻³ mbar এর কম বা সমান) + উচ্চ-বিশুদ্ধতা আর্গন (99.999%), ASTM F2095 এর সাথে সঙ্গতিপূর্ণ।
বাইরের প্যাকেজিং: ডাবল-স্তরযুক্ত আর্দ্রতা-প্রুফ অ্যালুমিনিয়াম ফয়েল ব্যাগ + ইপিই কুশনিং ফোম + কাঠের ক্রেট (ISPM-15 কমপ্লায়েন্ট), IEC 60068-2-78।
আর্দ্রতা সুরক্ষা লেবেল: আর্দ্রতা-প্রুফ + আর্দ্রতা সূচক কার্ড (5% RH এর কম বা সমান), IEC 60068-2-30 এর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ।
MSDS/SDS: জিএইচএস 7ম সংশোধনের সাথে সঙ্গতিপূর্ণ, এতে Zr ধুলো বিস্ফোরণের ঝুঁকি (P201, P261, P304+340), OSHA 29 CFR 1910.1200 সহ 16টি স্ট্যান্ডার্ড বিভাগ রয়েছে। শিপিং লেবেল: UN 1399 (অ-দাহ্য কঠিন ধাতু) + ক্ষয়কারী পদার্থ।
প্রতিটি বাক্সে একটি ডেসিক্যান্ট প্যাকেট (সিলিকা জেল) এবং একটি আর্দ্রতা রেকর্ডার রয়েছে। পরিবহন জুড়ে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ: 5-30 ডিগ্রি, আপেক্ষিক আর্দ্রতা 40% এর কম বা সমান।
গরম ট্যাগ: zirconium sputtering লক্ষ্য, চীন zirconium sputtering লক্ষ্য নির্মাতারা, সরবরাহকারী, কারখানা




